هوای فشرده برای تولید اکسیژن مورد نیاز است. کمپرسور هوای مورد استفاده یک کمپرسور بدون روغن است که برای چرخه کار 100٪ طراحی شده است.
جهت تزریق ازن در سیستم های با ظرفیت پایین ازن می توان از پمپ هوا به جای کمپرسور هوا استفاده کرد.
تاسیسات با ورودی هوا برای ژنراتورهای ازن انجام می شود، زیرا هوا باید به طور صحیح پالایش و آماده شود تا از آسیب به ژنراتور جلوگیری گردد. هوا باید تمیز و خشک با حداکثر نقطه شبنم ۶۰درجه سانتی گراد (80- درجه فارنهایت) و عاری از هرگونه آلودگی باشد. سیستم های آماده سازی هوا معمولا شامل کمپرسورهای هوا، صافی ها، خشک کن ها و تنظیم کننده های فشار هستند.